SEM Örnek Kaplama Ünitesi
Sputter Kaplama
Leica (EM ACE600, Yüksek vakumlu)
Cihaz Tanımı
Yüksek Vakum Metal ve Karbon Kaplama Cihazı: Elektron mikroskobunda incelenecek iletken olmayan numunelerin yüzeyinin kaplanması için kullanılmaktadır.
- Metal kaplama akımı 150mA
- Kaplama kalınlığı 1 – 1000 nm
- 18 adet ½’lik SEM numune aynı anda kaplama kapasitesi
- Vakum değeri en az 2×10-6 mbar
- Au Kaplama
- Au/Pd Kaplama
- Karbon kaplama
